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半导体的生产工艺流程;微机电制作技术,尤其是大宗以硅半导体为基础的微;一、洁净室;一般的机械加工是不需要洁净室(cleanroom;为此,所有半导体制程设备,都必须安置在隔绝粉尘进;为营造洁净室的环境

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